美國(guó)Tousimis C系列觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀_晶圓專(zhuān)用CPD

美國(guó)Tousimis C系列觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

_晶圓專(zhuān)用CPD（清潔室版本）

C系列為立式（落地式）大型臨界點(diǎn)干燥儀，可在超凈間工作，有3個(gè)型號(hào)可選：

1）Autosamdri-934，用于不超過(guò)4"的晶圓超臨界干燥

2）Automegasamdri-936，用于不超過(guò)6"的晶圓超臨界干燥

3）Automegasamdri-938，用于不超過(guò)8"的晶圓超臨界干燥

臨界點(diǎn)干燥原理
之所以稱(chēng)為臨界點(diǎn)干燥（又稱(chēng)超臨界干燥），因?yàn)樗嬖跔顟B(tài)的連續(xù)性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無(wú)明顯的區(qū)別，分界面的表面應(yīng)力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱(chēng)為臨界點(diǎn)。零表面應(yīng)力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應(yīng)力對(duì)試樣的損壞。 
我們?cè)陔娮语@微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時(shí)經(jīng)常需要進(jìn)行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點(diǎn)為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點(diǎn)干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點(diǎn)在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過(guò)渡液體，即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時(shí)，在臨界點(diǎn)無(wú)表面應(yīng)力對(duì)樣品的破壞。

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

? 專(zhuān)門(mén)的初始慢充到工作腔室，理想的流體動(dòng)力學(xué)保護(hù)了敏感微型器件

? 通過(guò)觀察窗口實(shí)現(xiàn)腔室照明，有助于腔室狀態(tài)可視化

? 觸摸屏控制，出廠默認(rèn)設(shè)置的全自動(dòng)處理程序或者自定義用戶(hù)程序

? 內(nèi)表面材質(zhì)耐用于CO_2，超純乙醇和內(nèi)酮環(huán)境

? 外部安裝的 Post-Purge-Filter等組件，使維護(hù)變得很容易

? 獨(dú)家采用“螺旋渦流”法，產(chǎn)生流體動(dòng)力交換，無(wú)需用于加快置換的機(jī)械攪拌裝置

? 極其高效的集成封閉冷卻回路，快速降低腔室溫度，縮短處理時(shí)間

? 工作腔室對(duì)液態(tài)二氧化碳的顆粒過(guò)濾低至0.08µm,顆粒保留率達(dá)到99.999%+

? 防靜電設(shè)計(jì)，適合潔凈室材料制造應(yīng)用

? 獨(dú)創(chuàng)的腔室填充塊可實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)徑的改變，最大限度地提高液態(tài)二氧化碳利用率、減少工藝時(shí)間，并提供多種尺寸晶圓處理能力

? 每次可處理多達(dá)5個(gè)晶圓片。根據(jù)不同型號(hào)，配置不同的HF兼容晶圓支架：8"、6"、4"、3"、2"和10mm模具支架

? 可重復(fù)的操作參數(shù)，確保結(jié)果的“再現(xiàn)性”

? 集成溫度和壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)的安全操作功能

? 內(nèi)置冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機(jī)體靜電，整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲

主要技術(shù)規(guī)格

? 工作腔室尺寸：934型  4.50"I.D.；936型  6.50"I.D.；938型  8.50"I.D.

? 壓力測(cè)量范圍：0-2000psi. 

? 溫度測(cè)量范圍：-30°C to 60°C 

? 控制方式：觸摸屏全自動(dòng)程序控制

常規(guī)配置

? 柔性高壓液態(tài) CO2 供應(yīng)軟管，便于現(xiàn)場(chǎng)安裝

? 雙T型過(guò)濾器組件(#8785)預(yù)先安裝在腔室上的液態(tài)二氧化碳高壓軟管

? 所有排氣口均包含無(wú)靜電排氣管

? 腔室插件包括 :8"變6"，6"變4"，4"變3"，3"變2"，2"變1.25"，根據(jù)不同型號(hào)配置！允許多種晶圓尺寸的干燥

? 配備耐氟樣品架，根據(jù)不同腔室尺寸分別配置用于干燥8"、6"、4"、3"、2"的晶圓或邊長(zhǎng)為10mm的方形裸片，每個(gè)支架可裝載多達(dá)五個(gè)晶圓片

? 備用艙室O形圈，腔室燈和保險(xiǎn)絲(3A和8A)

注：美國(guó)Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國(guó)客戶(hù)中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國(guó)區(qū)代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類(lèi)，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；

非潔凈室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點(diǎn)干燥儀

2）Samdri®-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

3）Autosamdri®-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

4）Autosamdri®-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

潔凈室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)`干燥儀

9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

美國(guó)Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓（最大樣品尺寸8英寸，一次同時(shí)干燥5片）等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細(xì)胞組織等生物樣品、半導(dǎo)體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點(diǎn)。其中，經(jīng)典的SAMDRI®-PVT-3D和屢獲殊榮的Autosamdri®-931高級(jí)觸摸屏全自動(dòng)CPD等型號(hào)尤其令人矚目。客戶(hù)可基于不同的應(yīng)用選擇不同的型號(hào)。